
진공 피드스루
특성
허메틱 실 구조
절연 저항 (MΩ) : 1,000 이상 (atDC 1,000V), 기밀특성 : 1×10-10Pa · m³/sec
ICF,JIS,그외 특수플랜지에도 장착 가능합니다.
표준 사양 제품
절연성과 높은 기밀성이 필요한 용도에 최적한 피드스루 입니다.
진공 챔버나 가스 용기 등에 전원 도입 및 계측• 제어 신호의 취출용으로 적합합니다.
높은 기밀성을 유지하고 절연성이 뛰어난 허메틱 실 구조의 피드스루입니다.
내전압 |
전류치 |
전극 |
모델명 |
도면 |
크기 |
재질 |
1kV |
3A |
φ1.6 |
Fe-Ni-Co |
PF-K1.6-1kV-3A |
 |
20A |
C1020 |
PF-C1.6-1kV-20A |
 |
5A *1 |
M3 |
SUS304 |
PF-SM3-1KV-5A *1 |
 |
10A |
Fe-Ni-Co |
PF-KM3-1KV-10A |
 |
3kV |
10A |
M6 |
SUS304 |
PF-SM6-3KV-10A |
 |
PF-SM6-3KV-10A-L (긴 타입) |
 |
30A |
M10 |
PF-SM10-3KV-30A |
 |
100A |
M6 |
C1020 |
PF-CM6-3KV-100A |
 |
PF-CM6-3KV-100A-L (긴 타입) |
 |
200A |
M10 |
PF-CM10-3KV-200A |
 |
5kV |
8A |
M5 |
SUS304 |
PF-SM5-5KV-8A |
 |
70A |
C1020 |
PF-CM5-5KV-70A |
 |
12kV |
10A |
M6 |
SUS304 |
PF-SM6-12KV-10A |
 |
100A |
C1020 |
PF-CM6-12KV-100A |
 |
30kV |
10A ※1 |
M6 |
SUS304 |
PF-SM6-30KV-10A *1 |
 |
100A ※1 |
C1020 |
PF-CM6-30KV-100A *1 |
 |
*1: 1kV-5A,30kV는 주문 제작품입니다. 납기는 별도 문의주세요.
* 표준 사양 피드스루 이외의 사용환경에 맞춘 고객 사양 제품도 제작 가능합니다.
표준 사양 플랜지 피드스루
ICF플랜지를 용접한 표준 사양의 피드스루입니다.
내전압 |
전류치 |
전극 |
플랜지 |
모델명 |
도면 |
크기 |
재질 |
개수 |
1kV |
5A *1 |
M3 |
SUS304 |
1 |
ICF34 |
PF-SM3-1KV-5A-I34-1 *1 |
 |
2 |
ICF70 |
PF-SM3-1KV-5A-I70-2 *1 |
 |
10A |
Fe-Ni-Co |
1 |
ICF34 |
PF-KM3-1KV-10A-I34-1 |
 |
2 |
ICF70 |
PF-KM3-1KV-10A-I70-2 |
 |
3kV |
10A |
M6 |
SUS304 |
1 |
ICF34 |
PF-SM6-3KV-10A-I34-1 |
 |
2 |
ICF70 |
PF-SM6-3KV-10A-I70-2 |
 |
M6(L) |
1 |
ICF34 |
PF-SM6-3KV-10A-L-I34-1 |
 |
2 |
ICF70 |
PF-SM6-3KV-10A-L-I70-2 |
 |
30A |
M10 |
1 |
ICF70 |
PF-SM10-3KV-30A-I70-1 |
 |
2 |
ICF114 |
PF-SM10-3KV-30A-I114-2 |
 |
100A |
M6 |
C1020 |
1 |
ICF34 |
PF-CM6-3KV-100A-I34-1 |
 |
2 |
ICF70 |
PF-CM6-3KV-100A-I70-2 |
 |
M6(L) |
1 |
ICF34 |
PF-CM6-3KV-100A-L-I34-1 |
 |
2 |
ICF70 |
PF-CM6-3KV-100A-L-I70-2 |
 |
200A |
M10 |
1 |
ICF70 |
PF-CM10-3KV-200A-I70-1 |
 |
2 |
ICF114 |
PF-CM10-3KV-200A-I114-2 |
 |
5kV |
8A |
M5 |
SUS304 |
1 |
ICF34 |
PF-SM5-5KV-8A-I34-1 |
 |
2 |
ICF70 |
PF-SM5-5KV-8A-I70-2 |
 |
70A |
C1020 |
1 |
ICF34 |
PF-CM5-5KV-70A-I34-1 |
 |
2 |
ICF70 |
PF-CM5-5KV-70A-I70-2 |
 |
12kV |
10A |
M6 |
SUS304 |
1 |
ICF34 |
PF-SM6-12KV-10A-I34-1 |
 |
2 |
ICF70 |
PF-SM6-12KV-10A-I70-2 |
 |
100A |
C1020 |
1 |
ICF34 |
PF-CM6-12KV-100A-I34-1 |
 |
2 |
ICF70 |
PF-CM6-12KV-100A-I70-2 |
 |
30kV |
10A *1 |
M6 |
SUS304 |
1 |
ICF70 |
PF-SM6-30KV-10A-I70-1 *1 |
 |
100A *1 |
C1020 |
1 |
ICF70 |
PF-CM6-30KV-100A-I70-1 *1 |
 |
* 납기는 주문 후 2~3주 입니다.
*1: 1kV-5A,30kV는 주문 제작품입니다. 납기는 별도 문의주세요.
* 표준 플랜지 피드스루 이외의 사용환경에 맞춘 고객 사양 제품도 제작 가능합니다.
수냉식 진공 피드스루
히터의 열영향을 완화하여 발열억제가 가능한 피드스루입니다.
내전압 |
허용 전류 |
크기 (mm) |
ΦD1 |
ΦD2 |
L1 |
L2 |
3kV |
200A |
Φ16 |
Φ26 |
184 * |
80 * |

표준 사양은 상기 세 항목을 기준으로 합니다.
* L1,L2의 치수는 희망하시는 조건에 따라 변경 가능합니다 .(전극 관의 사이즈는 변경 불가)
* 냉각 연결부는 시판용을 적용합니다. 아래 리스트에서 선택해 주세요.
* 상기 치수 이외의 제품도 제작 가능합니다.
절연 튜브
원통형의 세라믹 파이프 양 측에 금속을 기밀접합한 절연튜브입니다. 진공장치의 공급, 순환 및 배기부분에서의 절연 용도에 최적합니다.
내전압 |
재질 |
플랜지 크기 |
모델명 |
20kV |
KOVAR |
ICF70以上 |
VE-K20KV |
30kV |
ICF114以上 |
VE-K30KV |
40kV |
ICF152以上 |
VE-K40KV |
진공 플랜지나 벨로우즈의 용접도 가능합니다.
사용하시는 환경이나 구조 조건에 대하여 알려주시면 최적의 절연 튜브를 제안하여 드립니다.
사파이어 창
초진공용 조망창 및 자외선,적외선의 투과용에 최적합니다.
|
크기 (mm) |
모델명 |
φA |
φB |
φC |
φD |
E |
t |
φ14 |
14 |
15.5 |
12 |
10.7 |
1 |
1 |
φ25.4 |
25.4 |
26.9 |
23.4 |
10.7 |
2 |
3 |
φ50 |
50 |
51.5 |
48 |
15.5 |
2 |
3 |
* 각종 진공 플랜지의 브레이징이나 용접도 가능합니다.
* 비자성재료와 사파이어의 접합도 가능합니다.
플랜지 사파이어 창
|
크기 (mm) |
모델명 |
φA |
φB |
φC |
φD |
E |
t |
T |
n |
H |
φP.C.D |
ICF70-φ14 |
14 |
15.5 |
12 |
70 |
1 |
1 |
12.7 |
6 |
6.8/M6 |
58.7 |
ICF70-φ25.4 |
25.4 |
26.9 |
23.4 |
70 |
2 |
3 |
12.7 |
6 |
6.8/M6 |
58.7 |
ICF114-φ50 |
50 |
51.5 |
48 |
114 |
2 |
3 |
17.5 |
8 |
8.5/M8 |
92.1 |
* 각종 진공 플랜지의 브레이징이나 용접도 가능합니다.
* 비자성재료와 사파이어의 접합도 가능합니다.