Power Feedthrough

Power Feedthrough

높은 절연성과 기밀성을 갖는 전류 도입단자를 찾으시나요?

특징

  • 뛰어난 절연성으로 밀폐되어 있습니다.
  • 절연저항(MΩ): 1,000이상(DC1,000V시)
  • 기밀성: 1×10-10Pa·m3/sec
  • 진공 챔버에 전력을 인가하여 측정신호나 제어신호를 추출하는데 최적인 제품입니다.

고객의 요구에 맞도록 커스터마이즈로 제품을 제작할 수 있습니다.

Standard Feedthrough
1K Volts / to 20 Amps

1K Volts / to 20 Amps

Volts Amps Conductor Flange Product Number Drawing
Size Material Quantity
1kV 3A φ1.6 Fe-Ni-Co 1 - PF-K1.6-1kV-3A PDF
20A Oxygen Free Copper
(JIS C1020)
1 - PF-C1.6-1kV-20A PDF
1K Volts / to 10 Amps

1K Volts / to 10 Amps

Volts Amps Conductor Flange Product Number Drawing
Size Material Quantity
1kV 5A *1 M3 Stainless Steel
(SUS304)
1 - PF-SM3-1kV-5A *1 PDF
1 ICF34 PF-SM3-1kV-5A-I34-1 *1 PDF
2 ICF70 PF-SM3-1kV-5A-I70-2 *1 PDF
10A Fe-Ni-Co 1 - PF-KM3-1kV-10A PDF
1 ICF34 PF-KM3-1kV-10A-I34-1 PDF
2 ICF70 PF-KM3-1kV-10A-I70-2 PDF

*1: 납기는 문의해주시기 바랍니다.

3K Volts / to 200 Amps

3K Volts / to 200 Amps

Volts Amps Conductor Flange Product Number Drawing
Size Material Quantity
3kV 10A M6 Stainless Steel
(SUS304)
1 - PF-SM6-3kV-10A PDF
1 ICF34 PF-SM6-3kV-10A-I34-1 PDF
1 ICF70 PF-SM6-3kV-10A-I70-1 PDF
2 ICF70 PF-SM6-3kV-10A-I70-2 PDF
M6 (L) 1 - PF-SM6-3kV-10A-L PDF
1 ICF34 PF-SM6-3kV-10A-L-I34-1 PDF
2 ICF70 PF-SM6-3kV-10A-L-I70-2 PDF
30A M10 1 - PF-SM10-3kV-30A PDF
1 ICF70 PF-SM10-3kV-30A-I70-1 PDF
2 ICF114 PF-SM10-3kV-30A-I114-2 PDF
100A M6 Oxygen Free Copper
(JIS C1020)
1 - PF-CM6-3kV-100A PDF
1 ICF34 PF-CM6-3kV-100A-I34-1 PDF
1 ICF70 PF-CM6-3kV-100A-I70-1 PDF
2 ICF70 PF-CM6-3kV-100A-I70-2 PDF
M6 (L) 1 - PF-CM6-3kV-100A-L PDF
1 ICF34 PF-CM6-3kV-100A-L-I34-1 PDF
2 ICF70 PF-CM6-3kV-100A-L-I70-2 PDF
200A M10 1 - PF-CM10-3kV-200A PDF
1 ICF70 PF-CM10-3kV-200A-I70-1 PDF
2 ICF114 PF-CM10-3kV-200A-I114-2 PDF
5K Volts / to 70 Amps

5K Volts / to 70 Amps

Volts Amps Conductor Flange Product Number Drawing
Size Material Quantity
5kV 8A M5 Stainless Steel
(SUS304)
1 - PF-SM5-5kV-8A PDF
1 ICF34 PF-SM5-5kV-8A-I34-1 PDF
2 ICF70 PF-SM5-5kV-8A-I70-2 PDF
70A Oxygen Free Copper
(JIS C1020)
1 - PF-CM5-5kV-70A PDF
1 ICF34 PF-CM5-5kV-70A-I34-1 PDF
2 ICF70 PF-CM5-5kV-70A-I70-2 PDF
12K Volts / to 100 Amps

12K Volts / to 100 Amps

Volts Amps Conductor Flange Product Number Drawing
Size Material Quantity
12kV 10A M6 Stainless Steel
(SUS304)
1 - PF-SM6-12kV-10A PDF
1 ICF34 PF-SM6-12kV-10A-I34-1 PDF
1 ICF70 PF-SM6-12kV-10A-I70-1 PDF
2 ICF70 PF-SM6-12kV-10A-I70-2 PDF
100A Oxygen Free Copper
(JIS C1020)
1 - PF-CM6-12kV-100A PDF
1 ICF34 PF-CM6-12kV-100A-I34-1 PDF
1 ICF70 PF-CM6-12kV-100A-I70-1 PDF
2 ICF70 PF-CM6-12kV-100A-I70-2 PDF
30K Volts / to 100 Amps

30K Volts / to 100 Amps

Volts Amps Conductor Flange Product Number Drawing
Size Material Quantity
30kV 10A *1 M6 Stainless Steel
(SUS304)
1 - PF-SM6-30kV-10A *1 PDF
1 ICF70 PF-SM6-30kV-10A-I70-1 *1 PDF
100A *1 Oxygen Free Copper
(JIS C1020)
1 - PF-CM6-30kV-100A *1 PDF
1 ICF70 PF-CM6-30kV-100A-I70-1 *1 PDF

*1: 납기는 문의해주시기 바랍니다.

전류 용량은 도체의 재질에 따라서 다릅니다

허용 전류치

Diameter Cross Section (mm²) Current Capacity (A)
Oxygen Free Copper
(JIS C1020)
Fe-Ni-Co Stainless Steel
(SUS304)
M3 7.07 40.0 8.0 6.5
M5 19.63 83.5 16.5 13.5
M6 28.27 109.0 21.5 17.5
M10 78.54 225.0 44.5 36.5

주위온도: 40°C, 온도상승: 40°C, 주파수: 50Hz

Customized Feedthrough

고객의 요구에 따라서 기기나 사용환경에 맞도록 최적인 부품을 선택하여 피드스루를 제작할 수 있습니다.

세라믹의 칫수와 형상

세라믹은 자사제품이므로 요청에 따라서 세라믹의 형상이나 칫수를 변경할 수 있습니다.
예) 연면거리를 길게하여 방전대책을 할 수 있으며 또한 알루미나의 함유량을 변경하는 것도 가능합니다. (92%, 96%, 99%)

전극 재료

전극 재료를 니켈, 티타늄, 알루멜, 크로멜등의 재료로 변경할 수 있습니다.


전극 (Cu, SUS, Kovar, Ni, Ti, etc)

전극에 Ni도금을 실시하고 있습니다.


완전 비자성의
티타늄 전극 피드스루

허용 전류치

Diameter
(mm)
Cross Section
(mm²)
Allowable current value (A)
Oxygen Free Copper
(JIS C1020)
Fe-Ni-Co Stainless Steel
(SUS304)
3 7.07 40.0 8.0 6.5
5 19.63 83.5 16.5 13.5
6 28.27 109.0 21.5 17.5
10 78.54 225.0 44.5 36.5

주위온도: 40°C, 온도상승: 40°C, 주파수: 50Hz
* 전류치는 전극재질과 단면적으로 결정합니다.

메탈라이즈 기술에 대해서 여기

전극 재료

전극형상의 변경도 가능합니다.


  • 전극 (스트레이트)

  • 전극 (나사형상)

  • 전극 (단자판)

  • 전극 (BNC)

플렌지와 용접


  • 용접

  • 브레이징

  • 피드스루 + 플렌지

플렌지등의 액세서리를 용접 및 브레이징 가능합니다.

특수한 피드스루

특수한 피드스루의 제작도 가능합니다.

메탈라이즈 기술에 대해서 여기


  • 히터 도입용 피드스루

  • 고주파용 피드스루

  • 열전대용 피드스루

  • 수냉식 피드스루
수냉용 피드스루
  • 표준사양.
  • 각종 진공플렌지와의 용접도 가능함.
  • 커스터마이즈 제품
  • 자사 생산의 세라믹
  • 형상·칫수의 변경도 가능함.
  • 유기EL이나 LED등의 디스플레이용 열적 영향을 완화하는데 사용됩니다.

열원 가까이서 사용이 가능합니다.

중심도체에 직접 히터를 연결하는 경우 히터의 열에 의해서 중심도체가 발열합니다.
중심도체를 수냉식으로 하여 히터에서의 열영향을 완화할 수 있으며 발열을 억제할 수 있는 피드스루 입니다.

Standard type

특성

절연저항 (MΩ): 1,000이상 (at DC500V), 기밀특성: 1×10-10Pa·m³/se

* 2 개의 Swagelok 튜브의 외경은 동일합니다.
* ICF70 로타리 플렌지 추천 (취부시 미세조정)

Resistence voltage Allowable current value Size (mm)
ΦD1 ΦD2 L1 L2
3kV 200A Φ16 Φ26 184* 80*

L1·L2의 칫수는 요청에 따라서 변경 가능합니다.

냉각 커넥터부분은 시판용을 사용합니다. (하기 리스트에서 선정해 주십시요)

공통 사양

고정 사이즈의 부품

  • 세라믹경: 3kV(내전압)
  • 세라믹 상하 연결구 사이즈
  • 진공측 전극경: φ16
커스터마이즈

사이즈 변경 가능한 부품

  • 전극의 길이 & 구조
  • 배틀도어 단자
  • 냉각 커넥터 사이즈
  • 플렌지의 취부
* 냉각용 커넥터 (TMT 커넥터)

NTR 나사 (미국 규격에 따름)

Tube outside diameter NTR male screw size Diamension
A Ax D E* F
(inch) (inch) (mm) (mm) (mm) (mm) (inch)
1/8 1/8 41.4 23.6 12.7 2.3 7/16
1/4 48 24.6 12.7 2.3 1.2
3/16 1/8 42.2 24.4 13.7 3.0 7/16
1/4 1/8 45.7 26.9 15.2 4.8 1/2
1/4 50.3 26.9 15.2 4.8 1/2
3/8 3/8 61.5 33.3 16.8 7.1 13/16
1/2 3/8 64.3 36.1 22.9 9.7 13/16
(inch) (inch) (mm) (mm) (mm) (mm) (inch)
6 1/8 45.8 27.0 15.3 4.8 1/2
1/4 50.3 27.0 15.3 4.8 1/2
8 1/4 55.3 29.9 16.2 6.4 5/8

* Column E shows the minimum diameter of nominal holes. The diameter of a hole for the pipe thread/ parallel thread end can be larger than the inside diameter.

* 회전 플렌지

회전 플렌지의 경우 베틀단자를 배치하여 냉각하는 것은 비교적 간단합니다.

Metallized & Brazed Product

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