HOME > 製品一覽 > 陶瓷金屬接合製品

真空電極端子

標準真空電極端子(電引入) 附法蘭真空電極端子(電引入)

真空電極(Feedthroughs)也稱為饋通、電引入、電流導入端子。是一種連通大氣端與真空端,將大氣端的電源或訊號等傳輸到真空腔體內部的密封部件。

絕緣電阻(MΩ):1,000以上(atDC1,000V)
氣密性:1×10-10Pa‧m³/sec
也可使用其他ICF、JIS或特殊法蘭。

標準真空電極端子

標準真空電極端子(電引入)

適用於追求高氣密性的絕緣用途。如真空腔體或瓦斯容器等的電源導入或測量。
可依需求熔接真空法蘭或其他附屬零件。導體材質及大小也可變更。
或是由我們為您提案、設計出最適合的真空電極端子樣式

耐電壓 電流值 電極 型號 圖面
尺寸 材質
1kV 3A φ1.6 Fe-Ni-Co PF-K1.6-1kV-3A PDF
20A C1020 PF-C1.6-1kV-20A PDF
5A M3 SUS304 PF-SM3-1kV-5A PDF
10A Fe-Ni-Co PF-KM3-1kV-10A PDF
3kV 10A M6 SUS304 PF-SM6-3kV-10A PDF
30A M10 PF-SM10-3kV-30A PDF
100A M6 C1020 PF-CM6-3kV-100A PDF
200A M10 PF-CM10-3kV-200A PDF
5kV 8A M5 SUS304 PF-SM5-5kV-8A PDF
70A C1020 PF-CM5-5kV-70A PDF
12kV 10A M6 SUS304 PF-SM6-12kV-10A PDF
100A C1020 PF-CM6-12kV-100A PDF
30kV 10A M6 SUS304 PF-SM6-30kV-10A PDF
100A C1020 PF-CM6-30kV-100A PDF

真空電極端子(附法蘭)

附法蘭真空電極端子(電引入)

本公司也有提供法蘭與真空電極端子的熔接服務。

耐電壓 電流值 電極 法蘭 型號 圖面
尺寸 材質
1kV 5A M3 SUS304 1 ICF34 PF-SM3-1kV-5A-I34-1 PDF
2 ICF70 PF-SM3-1kV-5A-I70-2 PDF
10A Fe-Ni-Co 1 ICF34 PF-KM3-1kV-10A-I34-1 PDF
2 ICF70 PF-KM3-1kV-10A-I70-2 PDF
3kV 10A M6 SUS304 1 ICF34 PF-SM6-3kV-10A-I34-1 PDF
1 ICF70 PF-SM6-3kV-10A-I70-1 PDF
2 ICF70 PF-SM6-3kV-10A-I70-2 PDF
30A M10 1 ICF70 PF-SM10-3kV-30A-I70-1 PDF
2 ICF114 PF-SM10-3kV-30A-I114-2 PDF
100A M6 C1020 1 ICF34 PF-CM6-3kV-100A-I34-1 PDF
1 ICF70 PF-CM6-3kV-100A-I70-1 PDF
2 ICF70 PF-CM6-3kV-100A-I70-2 PDF
200A M10 1 ICF70 PF-CM10-3kV-200A-I70-1 PDF
2 ICF114 PF-CM10-3kV-200A-I114-2 PDF
5kV 8A M5 SUS304 1 ICF34 PF-SM5-5kV-8A-I34-1 PDF
2 ICF70 PF-SM5-5kV-8A-I70-2 PDF
70A C1020 1 ICF34 PF-CM5-5kV-70A-I34-1 PDF
2 ICF70 PF-CM5-5kV-70A-I70-2 PDF
12kV 10A M6 SUS304 1 ICF34 PF-SM6-12kV-10A-I34-1 PDF
1 ICF70 PF-SM6-12kV-10A-I70-1 PDF
2 ICF70 PF-SM6-12kV-10A-I70-2 PDF
100A C1020 1 ICF34 PF-CM6-12kV-100A-I34-1 PDF
1 ICF70 PF-CM6-12kV-100A-I70-1 PDF
2 ICF70 PF-CM6-12kV-100A-I70-2 PDF
30kV 10A M6 SUS304 1 ICF70 PF-SM6-30kV-10A-I70-1 PDF
100A C1020 1 ICF70 PF-CM6-30kV-100A-I70-1 PDF
真空電極端子的客製化服務

水冷式真空電極端子

水冷式真空電極,亦稱爲水冷端子、水冷陶瓷電極等。通過將中心導體製成水冷的形式,達到緩和熱源的影響,抑制發熱的效果。

水冷式真空電極端子

耐電壓 容許電流 尺寸(mm)
ΦD1 ΦD2 L1 L2
3kV 200A Φ16 Φ26 184 ※ 80 ※

除上述尺寸外,也可製作其他各種尺寸。
※L1,L2可依需求變更

水冷式真空電極端子

特殊用途真空電極端子

根據您的用途,爲您的設備量身定做最合適的真空電極(feedthrough)。
以下是我們的製作實績。

  • 用於真空加熱器
    用於真空加熱器
  • 用於高周波
    用於高周波
  • 用於熱電偶
    用於熱電偶

陶瓷絕緣接頭

陶瓷絕緣接頭

絕緣接頭,是在管狀絕緣陶瓷的兩端與金屬進行氣密接合而成的產品。
適用於真空裝置的進氣、排氣部分。
如果您需要各種真空法蘭或波紋管的熔接,請與我們聯絡。我們能針對使用環境為您設計出最適合的陶瓷絕緣接頭。

耐電壓 金屬部材質 可對應之法蘭尺寸 型號
20kV KOVAR ICF70以上 VE-K20KV
30kV ICF114以上 VE-K30KV
40kV ICF152以上 VE-K40KV

陶瓷絕緣導管

陶瓷絕緣導管

冷媒 型號 金屬部材質 耐電壓 尺寸(mm)
ΦD1 L
液體 CB-L-S1500V-8 SUS316L 1.5kV 8.0 140
CB-L-S1500V-12 12.0
氣體 CB-G-S1500V-8 SUS316 1.5kV 8.0 140
CB-G-S1500V-12 12.0

本公司的陶瓷金屬接合對純水有絕佳的抗腐蝕性。銅、不鏽鋼、鐵鎳鈷合金(Kovar)、鈦等材質的導管皆適用。
其他非磁性材質也歡迎來信詢問。
依照使用環境及用途,可設計不同形狀的金屬管或陶瓷管。
不只是形狀、尺寸,氧化鋁濃度(92%、96%、99%)也可由我們為您設計、提案。
絕緣阻抗:1000以上(atDC500V) 、氣密性:1×10-10Pa‧m³/sec

内部螺旋狀陶瓷絕緣導管(用於濺射裝置、CVD裝置、航天推進器等)

内部螺旋狀陶瓷絕緣導管

適用於抑制半導體氣體導入時的放電現象!

本產品是一種内部管道呈螺旋結構的陶瓷絕緣導管。
通過將内部管道製成螺旋狀,使它的絕緣距離大幅增加,可以達到直線型内管的數倍。更能有效抑制直線放電現象的發生。

特長

  • 通過延長内部管道的長度,抑制放電現象的發生。
  • 在有限的空間内確保有效的絕緣距離,幫您實現裝置的省空間化。
  • 本產品被廣汎應用於蝕刻、成膜用的等離子表面處理裝置及CVD裝置、濺射裝置中。

本產品適用於各種半導體氣體中,如果您需要在有限的空間内進行絕緣,歡迎使用内部螺旋狀陶瓷絕緣導管!

  • 内部結構概念圖

  • 断面

  • 尺寸(mm)
    ΦD1 L1 L2
    Φ10~ 35~ 7~

    金屬管材質:SUS304、SUS316

標準型内部螺旋狀陶瓷絕緣導管

參數

  • 氣密性:1.0×10-10Pa·m³/sec
  • 内部螺旋管長度:190mm

標準型内部螺旋狀陶瓷絕緣導管

標準型内部螺旋狀陶瓷絕緣導管

尺寸(mm)

L ΦD1 ΦD2 ΦD3 圖面
70 Φ20 Φ3.18(1/8inch) Φ1.74 PDF

※陶瓷内部螺旋管長約爲190mm。
※如果您需要材質/尺寸變更等客製化服務,請聯係我們。

藍寶石真空觀察窗

藍寶石真空觀察窗

名稱 尺寸(mm)
ΦA ΦB ΦC D E t
藍寶石真空觀察窗
Φ14
14 15.5 12 10.7 1 1
藍寶石真空觀察窗
Φ25.4
25.4 26.9 23.4 10.7 2 3
藍寶石真空觀察窗
Φ50
50 51.5 48 15.5 2 3

藍寶石真空觀察窗

名稱 尺寸(mm)
ΦA ΦB ΦC ΦD E t T N H ΦP.C.D
ICF 70-Φ14 14 15.5 12 10.7 1 1 12.7 6 6.8/M6 58.7
ICF 70-Φ25.4 25.4 26.9 23.4 10.7 2 3 12.7 6 6.8/M6 58.7
ICF 114-Φ50 50 51.5 48 15.5 2 3 17.5 8 8.5/M8 92.1

超高真空用玻璃視窗、檢查孔、紫外線、紅外線專用的藍寶石真空觀察窗等,各種金屬的接合都可來信詢問。

使用可能的溫度範圍:~400°C
氣密性:1×10-10Pa‧m³/sec

高密著氧化鋁電路板

高密著氧化鋁電路板

使用金屬化技術,可在精密陶瓷板上形成高附著性的迴路。也可將通電用的針腳等零件接合在迴路上。

密著性 與其他零件接合 形成迴路
金屬化
電鍍 ×

金屬化處理與電鍍相同,可以形成直接迴路,但比電鍍有更好的密著性。若您有因電鍍密著性不足而迴路剝離的情況,歡迎與我們連絡,我們將為您提案由金屬化接合製作的高密著氧化鋁電路版。

由金屬化製作的電路版,迴路完全可以自由設計。本公司最小線幅可以做到0.4mm。歡迎與我們討論您所需要的迴路圖、線幅與間距等條件。

osaka-sales@
kawaso-texcel.co.jp

歡迎使用中文諮詢

Head Office / Sales Department
+81-6-6532-1301

LINE ID:
kawasoline

WeChat ID:
KawasoWechat2

線上客服

Page top